База ГОСТ РФ

Общероссийский классификатор стандартовЭЛЕКТРОТЕХНИКАПолупроводниковые материалы

29.045. Полупроводниковые материалы

1 2 3 4 5 6

  • ГОСТ 26239.8-84.
    действующий
    от: 01.08.2013
    Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния
    Semiconductor silicon and raw materials for its production. Method of dichlorsilane, trichlorsilane and silicon tetrachloride determination
    Настоящий стандарт устанавливает метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния в четыреххлористом кремнии ректификационно очищенном и в смесях четыреххлористого кремния с трихлорсиланом

1 2 3 4 5 6