База ГОСТ РФ
Общероссийский классификатор стандартов → ЭЛЕКТРОТЕХНИКА → Полупроводниковые материалы
ГОСТ 19658-81. Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия
Настоящий стандарт распространяется на слитки монокристаллического кремния, получаемые методом Чохральского и предназначенные для изготовления пластин-подложек, используемых в производстве эпитаксиальных структур и структур металл-диэлектрик-полупроводник
| Название на англ.: | Monocrystalline silicon in ingots. Specifications |
| Тип документа: | стандарт |
| Статус документа: | действующий |
| Число страниц: | 59 |
| Дата актуализации текста: | 01.08.2013 |
| Дата актуализации описания: | 01.08.2013 |
| Дата издания: | 01.04.2001 |
| Дата введения в действие: | 01.01.1983 |
| Дата последнего изменения: | 22.05.2013 |
| Переиздание: | переиздание с изм. 1 |
| Взамен: | ГОСТ 19658-74 |
Поправки и изменения:
- Изменение №1 к ГОСТ 19658-81
- Изменение №1 к ГОСТ 19658-81
- Изменение №1 к ГОСТ 19658-81
- Изменение №2 к ГОСТ 19658-81
- Изменение №2 к ГОСТ 19658-81
